单温区PE-CVD系统

产品特点：

单温区PE-CVD系统采用高性能射频电源，等离子体更稳定；

滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区；

可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较，生长温度更低。

技术参数

型号：TFE - 1200 - 50 - 220

设计温度：1150℃（短期）

额定温度：1100℃

推荐升温速率：≤10℃/min

控制精度：±1℃

炉管尺寸：Φ30/50/60*1200mm

炉膛尺寸：Φ80*220mm

加热区长度：220mm

恒温区长度：80mm

加热元件：国产电阻丝

额定功率：3KW

供气系统：

①三路高精度MFC

②量程0-500sccm（可定制）

射频电源：

①射频功率：5-500W；

②射频频率：13.56MHz；

③匹配方式：自动匹配

真空系统：双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等）

外形尺寸：1250*510*810mm